千級電子廠廠房潔凈檢測 報告--安衡檢測

目前對于大規模集成電路生產車間空調系統具有以下特點：1、大規模集成電路工藝布置多采用開放環境結合微環境的方法，在保證產品質量的同時，還可達到減少建設投資、降低運行費用的目的。

檢測方法與步驟：1.室內空氣溫度和相對濕度測定之前，空調系統應已連續運行至少12h；2.根據溫度和相對濕度波動范圍，應選擇相應的具有足夠精度的儀表進行測定。根據由低到高的精度，測定 宜連續進行（8~48）h，每次測定間隔不應大

電子廠廠房潔凈檢測  潔凈室的送風量應取以下三個較大值：保證電子制造廠潔凈室空氣潔凈度等級的送風量；根據熱濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風量；房間內供應的新鮮空氣量。

常規檢測項目：塵埃粒子、浮游菌、沉降菌、溫度、相對濕度、壓差、換氣次數必須做項目：車間混合照度、車間空氣細菌菌落數、水質38項檢測

空氣浮游菌：1.除受潔凈區設備限制外，取樣點應在整個潔凈區均勻布置；2.在日常監控時，那些與產品相鄰的區域，以及可能與產品直接接觸的空氣及設備附近均應考慮增加取樣點和取樣次數（與產品非接觸區相比，這些區域應視為關鍵區）；人員活動頻繁或人員集中的區域也應被視為關鍵區，需加強監控。3.取樣點一般布置在距地面0.8~1.5m之間或操作臺的高度。4.取樣時，取樣設備會對氣流產生干擾，因此，動態測試空氣浮游菌取樣時應避免可能對氣流組織的干擾。5.應根據被測區域的浮游菌控制限度和取樣方式確定采樣量，每一個點一般采樣一次。6.盡量避免在回風口附近取樣，而且測試人員應站在取樣口的下風側，盡量少走動。

適用場景：潔凈生產用房，空調冷凍機房，純水和氣體凈化站，人員、物料凈化用房

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