項目
M2
檢測基體
單基體
光學系統
帕型-龍格結構
光室結構
充氬方式
波長范圍
165-580nm
光柵焦距
150mm
光柵刻線
3600條/mm
探 測 器
多CMOS檢測器
光源類型
可編程脈沖數字光源
儀器尺寸
643*450*270
儀器重量
30Kg
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M2
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單基體
光學系統
帕型-龍格結構
光室結構
充氬方式
波長范圍
165-580nm
光柵焦距
150mm
光柵刻線
3600條/mm
探 測 器
多CMOS檢測器
光源類型
可編程脈沖數字光源
儀器尺寸
643*450*270
儀器重量
30Kg