渦旋式干泵

渦旋式干式真空泵是通過螺旋定子和轉子的聯合運動來排氣的干式真空泵。
用途廣泛，包括真空干燥設備、理化分析設備、真空吸附輸送設備、真空熱處理爐等。

渦旋式干式真空泵由兩個形狀相同的渦旋體組成，渦旋體的中心稍微偏移，使它們的壁彼此線接觸，從而一側相對于另一側進行搖擺運動，其結構是這樣的。被困在月牙形空間中的氣體被向中心壓縮并從中心的孔排出。 壓縮過程通常設計為發生兩次或多次，從而產生較低的振動和噪音。極限壓力可達1Pa。

渦旋式干泵Model:DIS-501

?雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。
?可在大氣壓下實現操作運行。
?可實現高極限真空。
?低振動低噪音。
?維護周期可通過計時表控制。

特點

• 結構緊湊，排氣量大。

• 干式真空泵的*壓力水平。

• 內置自動復位型熱保護器（單相用）安全設計。。

• 通過空氣沖洗抑制水分凝結。。

用途

• 分析設備

• 氣體回收系統

• 涂裝設備

• TMP的背泵

• 氦氣檢漏儀

• 半導體制造工藝

使用上的注意

１	粉末和生成物吸入會導致泵損壞。 請使用吸氣阱。
２	吸入有害氣體如爆炸性氣體，易燃氣體，有毒氣體，腐蝕性氣體，有機溶劑氣體等，可能會因氣體本身，爆炸或火災而導致泵故障。
３	三相規格沒有電機保護功能。 請務必安裝保護裝置，如漏電斷路器。

尺寸圖

DIS-501（Single phase）

DIS-501（Three phase）

排氣速度曲線

曲靖危房安全鑒定辦理單位

日本ULVAC雙繞式渦旋泵DIS...