一、國內對測量工業顯微鏡的計量標準

1. 核心*標準（GB/T 系列）

• GB/T 22056-2023《顯微鏡 光學和機械性能測試方法》
  覆蓋顯微鏡的光學性能（如分辨率、放大率誤差、像差、照明均勻性）和機械性能（如載物臺移動精度、調焦機構穩定性）的測試方法，是判斷顯微鏡基礎性能是否達標的核心依據。
• GB/T 19863-2021《顯微鏡 術語》
  統一顯微鏡（含測量類）的術語定義（如 “測量精度”“工作距離”“視場直徑”），避免計量過程中因術語歧義導致的誤差。
• GB/T 32076-2015《工業測量顯微鏡 技術條件》
  專門針對 “工業測量用途” 的顯微鏡，明確其測量范圍、示值誤差、重復精度、環境適應性（溫度、濕度、振動）等關鍵指標，例如規定 “測量范圍≤100mm 時，示值誤差應≤±(3+L/100)μm”（L 為測量長度，單位 mm）。

2. 計量 / 校準規程（JJG/JJF 系列）

• JJG 561-2019《工具顯微鏡規程》
  適用于 “以光學成像為原理，用于測量零件尺寸、角度、形狀的工具顯微鏡”（含工業測量顯微鏡），規定了項目（如放大率、示值誤差、十字線對準誤差）、工具（如標準玻璃尺、標準角度塊）及合格判定標準。
• JJF 1937-2021《測量顯微鏡校準規范》
  補充 JJG 561 的適用范圍，涵蓋更小型、型測量顯微鏡（如半導體行業用顯微測厚儀），明確校準流程、不確定度評定方法，更側重 “非強制” 場景的校準需求。https://industrial.evidentscientific.com.cn/zh/thickness/

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