干式真空泵
干式真空泵是一種容積式真空泵，其排氣通道的密封不使用油或液體。
干式真空泵廣泛被應用在半導體產業、電子元件、平板顯示（FPD）、醫藥、食品等領域，用于改善良品率和延長產線維護周期。
干式真空泵按轉子結構可分為多級羅茨型、螺桿型、渦旋型、爪式等。