凈化電子廠潔凈室潔凈度檢測項目及要求 第三方檢測-CMA--安衡檢測
一、檢測項目:懸浮粒子數、浮游菌、沉降菌、溫度、相對濕度、風速、風量、噪聲、照度、靜壓差、高效過濾器檢漏、自凈時間、換氣次數
空氣浮游菌:1.除受潔凈區設備限制外,取樣點應在整個潔凈區均勻布置;2.在日常監控時,那些與產品相鄰的區域,以及可能與產品直接接觸的空氣及設備附近均應考慮增加取樣點和取樣次數(與產品非接觸區相比,這些區域應視為關鍵區);人員活動頻繁或人員集中的區域也應被視為關鍵區,需加強監控。3.取樣點一般布置在距地面0.8~1.5m之間或操作臺的高度。4.取樣時,取樣設備會對氣流產生干擾,因此,動態測試空氣浮游菌取樣時應避免可能對氣流組織的干擾。5.應根據被測區域的浮游菌控制限度和取樣方式確定采樣量,每一個點一般采樣一次。6.盡量避免在回風口附近取樣,而且測試人員應站在取樣口的下風側,盡量少走動。
電子廠潔凈室潔凈度檢測項目及要求 2.溫濕度需求:溫度通常為24 2 度 ,相對濕度為55 5%; 3.送風量大。為了滿意無塵車間內的潔凈度及熱濕平衡,需求較大的送風量,就300平方米的車間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬級,送風量就需求300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數,是≥25次/h);如果是十萬級,送風量就需求300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數,是≥15次/h)。每個行業對于潔凈室的要求都不同,良好的車間環境對于東西的生產及員工的健康都起著特別大的作用。
電子制造業廠潔凈室檢測要求潔凈度等級、風量、溫度、濕度、壓差、設備排風等按需要進行控制。潔凈室的照度和截面風速按設計或規范控制。另外,這類潔凈室對靜電的要求非常高。嚴格的。其中,對濕度的要求更為嚴格。因為在過于干燥的廠房內容易產生靜電,會損壞CMOS集成度。
監測方法有沉降菌法、定量空氣浮游菌采樣法和表面取樣法(如棉簽擦拭法和接觸碟法)等。動態取樣應當避免對潔凈區造成不良影響。成品批記錄的審核應當包括環境監測的結果。對表面和操作人員的監測,應當在關鍵操作完成后進行。在正常的生產操作監測外,可在系統驗證、清潔或消毒等操作完成后增加微生物監測。
車間應用:電子廠凈化工程是潔凈度等級在10千級規范左右的凈化工程生產車間,關鍵操縱氣體浮塵顆粒對工作中目標的環境污染,內部務必維持正壓力情況。
安衡檢測技術服務有限公司經營范圍包括生物安全柜、潔凈工作臺、生物安全實驗室、潔凈室、醫院手術室、中央空調的環境檢測服務及實驗儀器的技術服務;清潔服務;消毒服務;室內環境檢測;大氣環境污染防治服務sxanhengjc
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