油擴(kuò)散泵由油鍋、擴(kuò)散噴嘴、汽缸三個(gè)部分組成 ，真空泵本身沒(méi)有機(jī)械式的可動(dòng)機(jī)構(gòu)。 油擴(kuò)散泵的排氣原理如下：首先，油在油鍋的部分被加熱蒸發(fā)，大量的油分子從噴嘴傾斜地向下以音速的速度被噴出。從高真空側(cè)（吸氣口）吸入的氣體分子高幾率的與噴出的油分子進(jìn)行碰撞，被油分子一起被噴出與壓縮到斜下方的空間內(nèi)。如此反復(fù)至第二級(jí)，第三級(jí)，*氣體分子經(jīng)排氣口由前級(jí)泵抽出。 由噴嘴噴出的油分子與冷卻的汽缸內(nèi)壁進(jìn)行碰撞，會(huì)產(chǎn)生冷凝，液化效果。*，回到油鍋內(nèi)，再次被加熱后從噴嘴噴出。 另外，油擴(kuò)散真空泵并不能進(jìn)行單獨(dú)的排氣，需要與前級(jí)泵（主要為滑閥真空泵）進(jìn)行搭配后進(jìn)行排氣。