■極限真空度高的TG-MU系列

 ?在真空環境下，殘留氣體中*多的是氫氣等比較輕的氣體。通過提高輕氣體的排氣性能，實現較好的真空環境。
 ?如果初期排氣達到更好的真空環境的話，在殘留氣體較少的情況下實現制造加工工藝，提高產品品質。