價格
電議
型號
YQ.02-SHP8400PMS
品牌
北京億百川科技發展有限公司
所在地
北京市 海淀區
更新時間
2019-02-06 17:30:01
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過程氣體質譜分析儀
儀器集成化、自動化程度高。可選配工業控制計算機和嵌入式操作系統、使儀器集控制與數據分析軟件于一體，體積小，抗干擾能力強。
有機架式和臺式兩種機型可選，充分考慮到在線分析的需要。
采用電磁閥或多通旋轉閥進行過程中的多氣路切換，實現多點、多組分自動監測，結構輕巧，方便快捷。
采樣和前處理裝置可根據需求量身定制，方便實現調壓、過濾、除濕、加熱等功能。
可控制溫度的進氣管道，有效防止過程氣體在采樣過程中冷凝。
雙燈絲，并配有燈絲保護裝置，大程度的延長燈絲的使用壽命。
機身附帶兩級真空泵，應用范圍可從高壓到高真空，根據用戶需求組合配置。
快速自動校準，包括背景校準、碎片校準、電離靈敏度校準。
人性化的任務管理功能，用戶可以自定義設置分析任務。
結果數據輸出采用DDE和OPC方式，與其它軟件系統兼容。
具備網絡接口，可實現遠程控制。
小檢測分壓：5×10-11 Torr（FC）
5×10-14 Torr（CDEM）
檢出限：≤10ppm（FC）
操作范圍：從常壓到高真空
操作溫度：≤70℃
取樣壓力：≤5 bar（有特殊需求者可訂制）
質量分析器：四極桿（Quad）
檢測器：法拉第筒（FC），電子倍增器（CDEM）可選
離子源：電子轟擊 （EI）源
保的分析結果。
多通機械旋轉閥死體積小，質量可靠。
電子轟擊離子源，通用性強、譜圖結構信息豐富。
精加工的四極桿質量分析器和高精度安裝調試技術保證近軸電場穩定，達到國際水平。
系統內部合理優化的散熱流路設計。
分子泵和質量分析器采用不同的減震措施，確保儀器運行的高可靠性。
真空系統依不同應用領域需求不同配置。
全面的標準化和開放性：軟件的數據儲存格式和內部交換格式均采用通用的工業標準（xml和csv）；數據發布采用DDE、OPC兩種方式。
引入“方法”和“任務”概念，實現分析過程全盤自動化。
軟件的開發基于舜宇恒平儀器的統一儀器軟件開發平臺SHPS1.2。支持長時間不間斷在線分析。
多路進樣通道、通過自動方法切換，支持多路不同樣品同時在線檢測。
半導體行業/冷媒檢漏
真空檢漏
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